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EUV 장비 제조업체 ASML이 밝힌 내용.
피터 베닝크 ASML CEO
-올해 공급30대의 EUV 장비를 공급할 계획
-이중 일부는 D램 메모리 최초의 EUV 양산설비 될 것.
(D램 메모리 제조사에게 공급한다는 뜻)
여기서 공급받을 것으로 유력한 건 삼성전자로,
EUV 기반으로 D램을 개발해 온데다가 작년 최초로 파운드리에 EUV를 적용했음.
이 장비가 들어갈 곳은 평택 D램 EUV 라인으로 추정
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